第二十五届中国科协求是杰出青年成果转化奖揭晓

　　 第二十五届中国科协求是杰出青年成果转化奖揭晓 华中科大陈蓉教授榜上有名

　　湖北日报讯 (记者陈熹、通讯员雷鸣)2月20日，2023“科创中国”年度会议揭晓第二十五届求是杰出青年成果转化奖名单，10位在科技成果转化方面取得优异业绩的青年科技人才受到表彰。华中科技大学机械科学与工程学院教授陈蓉获此殊荣。

　　陈蓉围绕原子层沉积的高精度、高效率、规模化，取得了系列成果，实现了原子精度改性方法和装备在芯片制程、显示封装、能源电池等新兴领域的应用，社会经济效益显著。她在微纳制造前沿交叉领域，针对微电子、新能源领域微纳制造精度、效率、一致性的瓶颈，开展原子层沉积方法、工艺与装备研究，开创性地提出区域选择性原子层沉积方法，应用于集成电路先进制程、硅光芯片等，实现高精度制造的同时，有效降低工艺复杂度；她发明了纳米薄膜快速 ALD 流域空间设计方法，沉积速率突破至100nm/min，为国际公开报道最高值；提出跨尺度多场耦合微纳结构包覆方法，实现原子精度包覆从克级向百公斤批处理的跨越。她研制出米级幅宽空间隔离、百公斤级超声流化两型原子层沉积装备，成功应用于芯片制程、显示封装、能源电池、固体火箭推进剂等。

　　据介绍，中国科协求是杰出青年奖于1998年设立，每年评选一次，包括实用工程奖和成果转化奖，旨在表彰奖励在国防科技领域和科技成果转化方面取得优异业绩的青年科技人才。

【编辑:裴春梅】