国家重大科学仪器设备开发专项“高端表面形貌测量系列仪器研究与开发”项目顺利通过综合验收

　　4月12日，科技部在武汉召开国家重大科学仪器设备开发专项综合验收会，由华工制造装备数字化国家工程中心有限公司牵头承担的“高端表面形貌测量系列仪器研究与开发”项目顺利通过项目综合验收。

　　高端表面形貌测量系列仪器解决了白光干涉垂直扫描大范围快速测量、大范围触针扫描轮廓测量仪误差补偿、二维位移同步计量技术等关键问题，研制了垂直扫描纳米位移发生装置、大范围触针扫描传感器检定装置、表面形貌与结构分析评定软件工具箱等，开发出具有自主知识产权的大范围触针扫描表面轮廓综合测量仪、白光干涉垂直扫描光学轮廓仪和可溯源原子力探针扫描显微镜等三种仪器，并在上海微电子装备中心有限公司、武汉光电国家实验室（筹）、国家数控技术工程研究中心、湖北汽车工业学院、湖北工业大学等单位进行了示范应用。

　　验收专家组经过听取项目组汇报、资料审查、实地验收检查、仪器现场测试、现场质询、项目组答疑等程序环节后，一致同意该项目通过验收。（杜纯）

                                                                                                  责任编辑：丘剑山