科技部对我省重大科学仪器设备开发专项进行综合验收

　　5月5日，科技部平台中心在武汉组织召开了国家重大科学仪器设备开发专项验收会，对省科技厅组织的“宽光谱广义椭偏仪设备开发”项目进行了综合验收，验收组由天津大学叶声华院士等11名专家组成。经过审阅资料、听取汇报、现场测试，验收组一致认为该项目实施情况良好，达到了预期目标并完成了各项考核指标。

　　“宽光谱广义椭偏仪设备开发”项目是国家重大科学仪器设备开发专项首批综合验收的三个项目之一，由武汉光迅科技股份有限公司牵头，华中科技大学为仪器开发技术支持单位，武汉新芯集成电路制造有限公司、武汉珈玮光伏照明有限公司、武汉光电国家实验室（筹）为应用开发单位，武汉颐光科技有限公司为产业化单位。该项目前期已顺利通过了科技部组织的财务验收和组织单位组织的初步验收。截止项目验收时，研制完成宽带消色差补偿器、高精度双旋转补偿器同步控制等核心部件与关键技术，开发出具有自主知识产权的宽光谱广义椭偏仪设备4台；获授权国际发明专利3件，授权国内发明专利29件，软件著作权8件，商标权1件。获日内瓦国际发明奖金奖1项，发表SCI学术论文50篇；形成设计图纸、工程工艺、软件代码等完整技术文档各1套，质量和可靠性保障方案1套；建成中试生产线1条，销售仪器产品2台。项目成果已在国内多家企业与科研院所获得了成果应用，并与国外一些知名科研院所（瑞士保罗谢勒研究所、比利时微电子研究中心等）展开了合作研究，应用范围涵盖集成电路、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学薄膜等众多领域。